1. 概述：过滤器及其安装如存在缺陷，如过滤器本身有小孔洞或者安装不严密形成微小裂缝，都会导致达不到预定的净化效果。因此，过滤器安装或更换后，需对过滤器和安装连接处进行检漏。

2.   检漏目的：通过测试过滤器的泄漏量，发现过滤器及其安装的缺陷所在，以便采取补救措施。

3. 检漏范围：洁净区、层流工作台以及设备上的过滤器等。

4. 检漏方法：常用的是DOP法检漏（即采用DOP溶剂作为尘源，与气溶胶光度计配合检漏），也可用尘埃粒子计数器扫描法来检漏（即采用大气尘作为尘源，与粒子计数器配合检漏）。由于粒子计数器读数为累积读数，不利于扫描，巡检速度慢；另外，在被测过滤器上风侧，往往大气尘浓度较低，需补充发烟才易发现泄漏，粒子计数器法检漏的的这些不足DOP法恰恰可以弥补，故国外广泛采用DOP法检漏。

5. DOP法检漏

5.1. 工作原理

在被检测过滤器上风侧发DOP气溶胶作为尘源（DOP即邻苯二甲酸二辛酯，分子量390.57，喷雾后粒子呈球形状），在下风侧用光度计进行采样，采集到的空气样品通过光度计的扩散室，含尘气体经过光度计产生的散射光由光电效应和线性放大转换为电量，并由微安表快速显示，便可测得气溶胶的相对浓度。 DOP试验实际测得的是过滤器的穿透率。

5.2. 材料与仪器

① 尘源（DOP溶剂）；

② DOP发生器[为产生烟雾的装置，DOP溶剂倒入发生器容器后，在一定压力或加热条件下产生气溶胶烟雾被送入过滤器上风侧（对DOP液体加热，形成 DOP蒸汽，蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴，仅留下0.3μm左右的颗粒，雾状DOP进入风道）；

③ 气溶胶光度计（测定和显示气溶胶浓度的仪器，应注明校验有效期，需是校验合格且在有效期内的方可使用）；

④ 氮气；

⑤ 环氧树脂硅胶；

⑥ 备用的所需型号的过滤器